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UR-Z712M-B是horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z712中的暢銷款，控制該壓力控制器前端的壓力。 控制壓力范圍0.02M-Bar-9.5M-Bar， 數(shù)字通訊； 消除后端壓力波動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）。

UR-Z732M-B控制該壓力控制器前端的壓力。 horiba數(shù)字式壓力控制器UR-Z732MB 控制壓力范圍10-500KPa， 數(shù)字通訊 消除后端壓力變動對前端腔體壓力的影響（入口控制型）

horiba IGS氣體質(zhì)量流量計Z517/Z527MGX IGS接口，EtherCat通訊 小量程0-2sccm，大量程0-50SLM 高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z552/Z562MGX 小量程0-100SLM，大量程0-500SLM 高精度：2.0% S.P. (50-100% F.S.); 1% F.S. (≤50% F.S.) 模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-Z522MGX horiba高精度氣體質(zhì)量流量計Z522/Z532/Z542$n小量程0-20sccm，大量程0-200SLM$n高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.)$n模擬信號輸出：0-5VDC，可選數(shù)字通訊RS485 F-Net協(xié)議

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100$n特點：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。

Horiba氣體質(zhì)量流量計SEC-N172R/SEC-N176R特點： 通訊模式：數(shù)字式、模擬式； 滿量程范圍 ：0-300SLM , 可選0-500SLM，0-1000SLM； 模擬輸出、數(shù)字通訊二選一。

Horiba自動壓力控制器R600基本特點： 1、控制類型：背壓控制 2、壓力范圍：300kpa 3、閥門類型: 電磁閥（常閉） 4、輸出：模擬0-5V或者數(shù)字RS485

Horiba質(zhì)量流量計SEC-8000系列特點： 高精度±1.0%設(shè)定點 高速響應(yīng) 超潔凈設(shè)計 符合RoHS標準

SEC-Z500X系列 Horiba質(zhì)量流量計高精度±1.0%設(shè)定點。該質(zhì)量流量控制器的線性度由多項式近似曲線補償，并實現(xiàn)在所有流量控制范圍內(nèi)的高精度。為提高實際氣體精度，不同工藝氣體的標定數(shù)據(jù)由HORIBA STEC公司的標準氣體測量系統(tǒng)測量。 高速響應(yīng)：裝配“可變PID系統(tǒng)”，可在任意兩個設(shè)定點之間實現(xiàn)1秒響應(yīng)?？勺働ID根據(jù)流量點設(shè)置不斷變化。